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搬送ロボット類

搬送ロボット類

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產品描述

 

工程 STEPPER
メーカー CANON
裝置 FPA-2500
品名 WAFER FEEDING UNITT
型式 FPA-Ⅳ-L , FPA-Ⅳ-R

 

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工程 STEPPER
メーカー CANON
裝置 FPA-3000
品名 WAFER FEEDING UNITT
型式 FPA-Ⅳ-L , FPA-Ⅳ-R

 

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工程 STEPPER
メーカー CANON
裝置 FPA-5000, FPA-5500
品名 WAFER FEEDING UNITT
型式 FPA-Z-L , FPA-Z-R

 

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工程  
メーカー CANON
裝置 縮小投影露光裝置
品名 レチクルロボット
型式 BG4-6735-000

 

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工程 UV SORT
メーカー DAIHEN
裝置  
品名 MANIPULATOR
型式 SPR-101-X※※※※

 

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工程  
メーカー DAIHEN
裝置  
品名 MANIPULATOR
型式 SPR-024-X0319

 

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工程  
メーカー DAIHEN
裝置  
品名 MANIPULATOR
型式 SPR-301-X1096

 

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工程 アッシャー?エッチング
メーカー RORZE
裝置  
品名 ATM WAFER HANDLER
型式 RR304

 

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工程 アッシャー?エッチング
メーカー RORZE
裝置  
品名 ATM WAFER HANDLER
型式 RR700、RR701

 

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工程  
メーカー YASKAWA
裝置  
品名 搬送ロボット
型式 XU-RSM53A0

 

 

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工程  
メーカー TEL
裝置  
品名 搬送ロボット
型式 MARK-8M/AX

 

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未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
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